【产业链】半导体洁净室
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一、洁净室 EPC 总包（厂房整体建设，板块核心弹性标的）
1. 太极实业（ 600667 ）
旗下十一科技，国内洁净室总包龙头，国内 70% 以上 12 寸晶圆厂设计承建，可做 ISO1 级 3nm 产线；绑定长江存储、长鑫、华虹，订单体量最大、业绩稳健、国资属性回款稳。
2. 亚翔集成（ 603929 ）
板块情绪龙头，台资技术，唯一 A 股可交付 ISO1 级顶级洁净室，半导体业务纯度最高；海外高毛利订单占比 70%+，绑定中芯、三星、存储厂，小盘弹性极强。
3. 圣晖集成（ 603163 ）
台资背景，深度绑定台积电、日月光、SK 海力士；温控、微振动控制优势突出，海外扩产订单充足，毛利率优于内资总包。
4. 柏诚股份（ 601133 ）
内资中军，国内成熟 12 寸厂房市占领先，长鑫、长江存储核心供应商，机构重仓，走势偏趋势慢涨。
5. 深桑达 A（ 000032 ）
旗下中电四，国家队洁净工程，承接大型国资晶圆、封测项目，资质齐全，大型基建项目优势明显。
二、洁净室核心空气设备（FFU / 过滤器 / AMC 化学过滤）
1. 美埃科技（ 688376 ）【FFU 绝对龙头】
半导体 FFU 国内市占 27%-30%，ULPA 超高效滤网 + AMC 化学过滤全覆盖，适配 3nm/EUV 光刻；客户：中芯、台积电、英特尔，新建厂房 + 存量替换双需求，耗材持续复购。
2. 创元科技（ 000551 ）
子公司江苏苏净，老牌国产洁净机组厂商，全套 MAU、FFU、风淋室，具备 SEMI 半导体认证，成熟制程厂广泛供货。
3. 盛剑科技（ 603324 ）
专攻晶圆厂AMC 分子污染治理、工艺废气、精密温控，解决先进制程微量酸碱有机物污染，配套中芯、长电、长鑫，近期板块强势标的。
三、高纯流体 / 厂务系统（洁净车间超纯水、特气、化学品输送）
1. 至纯科技（ 603690 ）
高纯湿法 + 厂务净化双龙头，洁净室超纯水、化学品供给系统；光刻机配套洁净环境市占高，覆盖 7/14nm 先进产线。
2. 正帆科技（ 688596 ）
超高纯工艺流体系统，洁净室特气柜、化学品输送管路核心供应商，半导体二次配核心配套商。
3. 新莱应材（ 300260 ）
高纯 EP 不锈钢管道、阀门、真空管件，洁净车间气体 / 药液传输耗材，全球头部设备厂认证，耗材持续更换需求。
四、洁净室围护 / 滤材 / 防静电材料（上游原材料）
1. 再升科技（ 603601 ）
ULPA/ HEPA 玻纤滤材，FFU 过滤器核心原材料，美埃、苏净上游，台积电认证滤材，耗材属性现金流好。
2. 富泰股份（ 600882 ）
洁净彩钢板、防静电高架地板、洁净围护板材，所有工程总包上游基础建材供应商。
3. 宏昌电子（ 603002 ）
电子级环氧树脂，洁净室防静电地坪核心原料，ESD 防静电配套材料上游。
五、细分配套（风淋、防静电、洁净耗材）
天华新材：无尘服、防静电洁净耗材；
华特气体：洁净车间超高纯特种气体配套；
安集科技：洁净清洗配套化学品。
板块简单逻辑区分
1.博弈弹性：亚翔集成、圣晖集成（小盘、海外高毛利订单、情绪标的）
2.稳健中军：太极实业、柏诚股份（大订单、机构重仓、波动小）
3.设备耗材长逻辑：美埃科技、再升科技、至纯科技（厂房建好后持续更换耗材，周期更稳）
4.分子污染增量（先进制程独有）：盛剑科技、美埃科技（3/5nm 产线刚需，增量空间大）
风险提示：以上仅行业个股梳理，不构成投资建议，半导体基建受晶圆厂资本开支、项目回款周期影响波动较大。
$太极实业(sh600667)$ $亚翔集成(sh603929)$ $圣晖集成(sh603163)$ $柏诚股份(sh601133)$ $深桑达Ａ(sz000032)$
1. 太极实业（ 600667 ）
旗下十一科技，国内洁净室总包龙头，国内 70% 以上 12 寸晶圆厂设计承建，可做 ISO1 级 3nm 产线；绑定长江存储、长鑫、华虹，订单体量最大、业绩稳健、国资属性回款稳。
2. 亚翔集成（ 603929 ）
板块情绪龙头，台资技术，唯一 A 股可交付 ISO1 级顶级洁净室，半导体业务纯度最高；海外高毛利订单占比 70%+，绑定中芯、三星、存储厂，小盘弹性极强。
3. 圣晖集成（ 603163 ）
台资背景，深度绑定台积电、日月光、SK 海力士；温控、微振动控制优势突出，海外扩产订单充足，毛利率优于内资总包。
4. 柏诚股份（ 601133 ）
内资中军，国内成熟 12 寸厂房市占领先，长鑫、长江存储核心供应商，机构重仓，走势偏趋势慢涨。
5. 深桑达 A（ 000032 ）
旗下中电四，国家队洁净工程，承接大型国资晶圆、封测项目，资质齐全，大型基建项目优势明显。
二、洁净室核心空气设备（FFU / 过滤器 / AMC 化学过滤）
1. 美埃科技（ 688376 ）【FFU 绝对龙头】
半导体 FFU 国内市占 27%-30%，ULPA 超高效滤网 + AMC 化学过滤全覆盖，适配 3nm/EUV 光刻；客户：中芯、台积电、英特尔，新建厂房 + 存量替换双需求，耗材持续复购。
2. 创元科技（ 000551 ）
子公司江苏苏净，老牌国产洁净机组厂商，全套 MAU、FFU、风淋室，具备 SEMI 半导体认证，成熟制程厂广泛供货。
3. 盛剑科技（ 603324 ）
专攻晶圆厂AMC 分子污染治理、工艺废气、精密温控，解决先进制程微量酸碱有机物污染，配套中芯、长电、长鑫，近期板块强势标的。
三、高纯流体 / 厂务系统（洁净车间超纯水、特气、化学品输送）
1. 至纯科技（ 603690 ）
高纯湿法 + 厂务净化双龙头，洁净室超纯水、化学品供给系统；光刻机配套洁净环境市占高，覆盖 7/14nm 先进产线。
2. 正帆科技（ 688596 ）
超高纯工艺流体系统，洁净室特气柜、化学品输送管路核心供应商，半导体二次配核心配套商。
3. 新莱应材（ 300260 ）
高纯 EP 不锈钢管道、阀门、真空管件，洁净车间气体 / 药液传输耗材，全球头部设备厂认证，耗材持续更换需求。
四、洁净室围护 / 滤材 / 防静电材料（上游原材料）
1. 再升科技（ 603601 ）
ULPA/ HEPA 玻纤滤材，FFU 过滤器核心原材料，美埃、苏净上游，台积电认证滤材，耗材属性现金流好。
2. 富泰股份（ 600882 ）
洁净彩钢板、防静电高架地板、洁净围护板材，所有工程总包上游基础建材供应商。
3. 宏昌电子（ 603002 ）
电子级环氧树脂，洁净室防静电地坪核心原料，ESD 防静电配套材料上游。
五、细分配套（风淋、防静电、洁净耗材）
天华新材：无尘服、防静电洁净耗材；
华特气体：洁净车间超高纯特种气体配套；
安集科技：洁净清洗配套化学品。
板块简单逻辑区分
1.博弈弹性：亚翔集成、圣晖集成（小盘、海外高毛利订单、情绪标的）
2.稳健中军：太极实业、柏诚股份（大订单、机构重仓、波动小）
3.设备耗材长逻辑：美埃科技、再升科技、至纯科技（厂房建好后持续更换耗材，周期更稳）
4.分子污染增量（先进制程独有）：盛剑科技、美埃科技（3/5nm 产线刚需，增量空间大）
风险提示：以上仅行业个股梳理，不构成投资建议，半导体基建受晶圆厂资本开支、项目回款周期影响波动较大。
$太极实业(sh600667)$ $亚翔集成(sh603929)$ $圣晖集成(sh603163)$ $柏诚股份(sh601133)$ $深桑达Ａ(sz000032)$
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