关于韬定律芯片制作的一些用材增量,新热度,可以看看
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溅射靶材:3D堆叠使内部布线层数从20多层翻倍至40多层,直接导致铜、钽等靶材需求量急剧放大。
电子特气与光刻胶:3D堆叠令刻蚀、沉积等工艺步骤增加,电子特气(特别是高纯氢氟酸)消耗量随之提升2-3倍;加上对多层图案套刻精度要求更高,自然也推高了光刻胶的总消耗量。
CMP抛光液:为了让每层堆叠的晶圆表面平坦,需要反复进行CMP抛光(化学机械抛光),自然令抛光液用量大增。
在后端封装环节,材料用量增长也极为惊人:
ABF/树脂基板:作为芯片的“地基”和“骨架”,其用量可达传统的5-18倍,占先进封装成本超过50%。
底部填充胶与导热材料:为应对高层数堆叠带来的巨大热应力和散热挑战,底部填充胶用量会随层数上升呈指数级增长;同时导热材料需求也急剧增加,如碳化硅铝基板已升级为导热系数高达1200-1600 W/m·K的金刚石热沉片,氮化铝基板及各种导热凝胶的填充量也增加。
封装用金属:在后道封装环节的金属沉积中,同样会消耗大量的12英寸高纯靶材。
光刻胶与电子特气:除了用于晶圆制造,在后道先进封装的光刻、刻蚀环节,同样需要消耗光刻胶和电子特气。
玻璃基载板:面对传统有机基板在高堆叠下的热胀冷缩短板,华为正积极研发玻璃基封装技术,其单位面积材料用量是传统方案的3-5倍
电子特气与光刻胶:3D堆叠令刻蚀、沉积等工艺步骤增加,电子特气(特别是高纯氢氟酸)消耗量随之提升2-3倍;加上对多层图案套刻精度要求更高,自然也推高了光刻胶的总消耗量。
CMP抛光液:为了让每层堆叠的晶圆表面平坦,需要反复进行CMP抛光(化学机械抛光),自然令抛光液用量大增。
在后端封装环节,材料用量增长也极为惊人:
ABF/树脂基板:作为芯片的“地基”和“骨架”,其用量可达传统的5-18倍,占先进封装成本超过50%。
底部填充胶与导热材料:为应对高层数堆叠带来的巨大热应力和散热挑战,底部填充胶用量会随层数上升呈指数级增长;同时导热材料需求也急剧增加,如碳化硅铝基板已升级为导热系数高达1200-1600 W/m·K的金刚石热沉片,氮化铝基板及各种导热凝胶的填充量也增加。
封装用金属:在后道封装环节的金属沉积中,同样会消耗大量的12英寸高纯靶材。
光刻胶与电子特气:除了用于晶圆制造,在后道先进封装的光刻、刻蚀环节,同样需要消耗光刻胶和电子特气。
玻璃基载板:面对传统有机基板在高堆叠下的热胀冷缩短板,华为正积极研发玻璃基封装技术,其单位面积材料用量是传统方案的3-5倍
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