半导体制程的气体逻辑
展开
半导体晶圆工艺涉及4种气体：高纯氢气/氮气/氩气/氦气
1. 高纯H₂ 氢气：还原、退火、缺陷钝化、薄膜还原
2. 高纯N₂ 氮气：吹扫、置换、真空保压、腔体隔离、干燥保护
3. 高纯Ar 氩气：等离子刻蚀、溅射沉积、惰性隔绝
4. 高纯He 氦气：精密冷却、检漏、高能等离子、光刻温控
水发燃气是高纯氦气，宝光是高纯氢气。凯美特气是生产多种气体产品，主要包括高纯食品级液体二氧化碳、干冰、氩气、氮气、氢气、氧气、戊烷、液化气及可燃气等其它气体。和远气体是氮气和氩气。
水发燃气5板后在调整，宝光已拉3板。等宝光回调，资金会不会去炒凯美和和远呢？逻辑上讲的通，需要市场资金验证。
1. 高纯H₂ 氢气：还原、退火、缺陷钝化、薄膜还原
2. 高纯N₂ 氮气：吹扫、置换、真空保压、腔体隔离、干燥保护
3. 高纯Ar 氩气：等离子刻蚀、溅射沉积、惰性隔绝
4. 高纯He 氦气：精密冷却、检漏、高能等离子、光刻温控
水发燃气是高纯氦气，宝光是高纯氢气。凯美特气是生产多种气体产品，主要包括高纯食品级液体二氧化碳、干冰、氩气、氮气、氢气、氧气、戊烷、液化气及可燃气等其它气体。和远气体是氮气和氩气。
水发燃气5板后在调整，宝光已拉3板。等宝光回调，资金会不会去炒凯美和和远呢？逻辑上讲的通，需要市场资金验证。
话题与分类：
主题股票：
主题概念：
声明：遵守相关法律法规，所发内容承担法律责任，倡导理性交流，远离非法证券活动，共建和谐交流环境！
