TGV玻璃基板:0-1,放量在即 产业链受益股
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玻璃基板:0-1,放量在即
TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)是一种在玻璃基板上制作垂直互连通孔的核心技术,主要用于玻璃基板封装。TGV是AI驱动先进封装升级的核心技术,随着AI带动先进封装需求的提升,TGV产业链也将迎来需求爆发。
目前正处于TGV产业0-1突破的前夕:英特尔已投入超10亿美元推进玻璃基板产线建设,并宣布进入规模化量产阶段。台积电正将CoWoS技术延伸至CoPoS路线,以玻璃基板替代硅中介层,预计几年内实现量产。LG正式切入玻璃基板领域,成立专项团队。三星电机已正式向苹果公司提供了用于半导体封装的玻璃基板样品。业内普遍预计,2026-2027年将成为玻璃基板规模化应用的关键拐点。
TGV产业链覆盖材料—设备—基板—封测—终端芯片全链条,核心环节包括:
1. 上游材料:包括玻璃基板,玻璃基板的材料选择和性能直接决定了TGV的加工质量和最终产品的可靠性,目前主流的玻璃材料包括硼硅玻璃、石英玻璃、无碱玻璃等。另外,上游材料还包括湿法刻蚀液、电镀液等药水/化学试剂。
2. 核心设备:这部分价值量最高,国产替代空间大。
1)激光钻孔/通孔形成设备:TGV的成孔技术是产业链的核心难点,也是决定量产效率的关键。目前主流技术路线是激光诱导刻蚀,先用超快激光对玻璃进行选择性改性,再通过化学蚀刻形成通孔。
2)金属化(电镀填充)设备:通孔钻好后,需要在孔内填充导电金属(主要为铜),形成导电通路。这一环节包括种子层沉积(PVD物理气相沉积)和电镀填充两步。
3)检测设备:TGV工艺的精密性使得AOI(自动光学检测) 成为保障良率的核心屏障。检测环节覆盖来料、诱导、蚀刻、RDL制作等每一个工艺节点,需要检测的缺陷包括:孔径偏差、真圆度不良、孔内异物、断线/短路等。
4)RDL再布线:在玻璃基板表面制作再布线层(RDL),形成芯片与外部电路连接的“导线网络”。这一环节类似半导体光刻工艺,涉及绝缘层沉积、图形化、电镀布线等步骤。
半导体 TGV 产业链(玻璃通孔,A 股核心)
半导体 TGV(Through-Glass Via)是先进封装(CoPoS/CPO/Chiplet)的关键技术,用于 AI 芯片、光模块的玻璃基板微孔加工,是 2026 年热点赛道。
1. 玻璃基板(材料端,核心)
沃格光电( 603773 ):TGV 全制程量产龙头。武汉 10 万㎡/ 年产线已投产,成都 8.6 代线 2026 年量产;1.6T 光模块载板送样头部客户。
彩虹股份( 600707 ):G8.5 + 玻璃基板龙头,国内市占率超 80%,布局半导体级 TGV 基板。
凯盛科技( 600552 ):中建材旗下,超薄电子玻璃 + TGV 研发双轮驱动。
京东方 A( 000725 ):面板龙头跨界,玻璃基封装载板路线图明确,2027 年小批量。
2. 激光钻孔设备(工艺端,卖铲人)
帝尔激光( 300776 ):TGV 激光设备龙头,市占率 60%+,覆盖晶圆级 / 面板级通孔。
德龙激光( 688170 ):LIDE 激光改性技术,深耕玻璃微孔加工,收购德国康宁激光补强 TGV 能力。
大族激光( 002008 )/ 大族数控( 301200 ):激光设备龙头,Panel 级 TGV 设备批量交付。
盛美上海( 688082 ):半导体电镀设备商,2025年交付首台面板级电镀设备(玻璃基板需要电镀填 孔)。逻辑:电镀是玻璃基板关键工序,设备国产化替代。
3. 封装与制程配套
东威科技( 688700 ):TGV 电镀设备核心供应商。
汇成真空( 688403 ):PVD 镀膜设备,适配玻璃基板金属化。
兴森科技( 002436 ):封装基板龙头,布局 TGV 工艺与玻璃基载板。
TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)是一种在玻璃基板上制作垂直互连通孔的核心技术,主要用于玻璃基板封装。TGV是AI驱动先进封装升级的核心技术,随着AI带动先进封装需求的提升,TGV产业链也将迎来需求爆发。
目前正处于TGV产业0-1突破的前夕:英特尔已投入超10亿美元推进玻璃基板产线建设,并宣布进入规模化量产阶段。台积电正将CoWoS技术延伸至CoPoS路线,以玻璃基板替代硅中介层,预计几年内实现量产。LG正式切入玻璃基板领域,成立专项团队。三星电机已正式向苹果公司提供了用于半导体封装的玻璃基板样品。业内普遍预计,2026-2027年将成为玻璃基板规模化应用的关键拐点。
TGV产业链覆盖材料—设备—基板—封测—终端芯片全链条,核心环节包括:
1. 上游材料:包括玻璃基板,玻璃基板的材料选择和性能直接决定了TGV的加工质量和最终产品的可靠性,目前主流的玻璃材料包括硼硅玻璃、石英玻璃、无碱玻璃等。另外,上游材料还包括湿法刻蚀液、电镀液等药水/化学试剂。
2. 核心设备:这部分价值量最高,国产替代空间大。
1)激光钻孔/通孔形成设备:TGV的成孔技术是产业链的核心难点,也是决定量产效率的关键。目前主流技术路线是激光诱导刻蚀,先用超快激光对玻璃进行选择性改性,再通过化学蚀刻形成通孔。
2)金属化(电镀填充)设备:通孔钻好后,需要在孔内填充导电金属(主要为铜),形成导电通路。这一环节包括种子层沉积(PVD物理气相沉积)和电镀填充两步。
3)检测设备:TGV工艺的精密性使得AOI(自动光学检测) 成为保障良率的核心屏障。检测环节覆盖来料、诱导、蚀刻、RDL制作等每一个工艺节点,需要检测的缺陷包括:孔径偏差、真圆度不良、孔内异物、断线/短路等。
4)RDL再布线:在玻璃基板表面制作再布线层(RDL),形成芯片与外部电路连接的“导线网络”。这一环节类似半导体光刻工艺,涉及绝缘层沉积、图形化、电镀布线等步骤。
半导体 TGV 产业链(玻璃通孔,A 股核心)
半导体 TGV(Through-Glass Via)是先进封装(CoPoS/CPO/Chiplet)的关键技术,用于 AI 芯片、光模块的玻璃基板微孔加工,是 2026 年热点赛道。
1. 玻璃基板(材料端,核心)
沃格光电( 603773 ):TGV 全制程量产龙头。武汉 10 万㎡/ 年产线已投产,成都 8.6 代线 2026 年量产;1.6T 光模块载板送样头部客户。
彩虹股份( 600707 ):G8.5 + 玻璃基板龙头,国内市占率超 80%,布局半导体级 TGV 基板。
凯盛科技( 600552 ):中建材旗下,超薄电子玻璃 + TGV 研发双轮驱动。
京东方 A( 000725 ):面板龙头跨界,玻璃基封装载板路线图明确,2027 年小批量。
2. 激光钻孔设备(工艺端,卖铲人)
帝尔激光( 300776 ):TGV 激光设备龙头,市占率 60%+,覆盖晶圆级 / 面板级通孔。
德龙激光( 688170 ):LIDE 激光改性技术,深耕玻璃微孔加工,收购德国康宁激光补强 TGV 能力。
大族激光( 002008 )/ 大族数控( 301200 ):激光设备龙头,Panel 级 TGV 设备批量交付。
盛美上海( 688082 ):半导体电镀设备商,2025年交付首台面板级电镀设备(玻璃基板需要电镀填 孔)。逻辑:电镀是玻璃基板关键工序,设备国产化替代。
3. 封装与制程配套
东威科技( 688700 ):TGV 电镀设备核心供应商。
汇成真空( 688403 ):PVD 镀膜设备,适配玻璃基板金属化。
兴森科技( 002436 ):封装基板龙头,布局 TGV 工艺与玻璃基载板。
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