滨化股份G5电子氢氟酸、6N高纯氟化氢产能明细

一、已投产现有产能（当前落地产能）

1、G5级液态电子氢氟酸（ SEMI G5湿电子化学品）

当前量产产能：6000吨/年

- 主体：子公司大晟芯材料滨州厂区，全部产线均为G5等级，指标优于SEMI G5官方标准，金属离子控制达到国际先进水平，适配14nm及以下先进晶圆制程；

- 经营状态：2025全年产能利用率106.7%，持续