7 月 27 日，The Information 报道称，一家未具名的上海国资背景企业已经开始制造国产浸没式 DUV。

今年初期数量约 5 台，2027 年目标约 20 台，计划面向中芯国际、华虹和长鑫存储。项目整合了包括宇量昇在内的多支研发团队。

2025 年，中芯国际被报道测试宇量昇开发的国产浸没式 DUV。不到一年，进度从客户测试推进到初期多机制造。

约 5 台设备将同时面对整机重复装