股票名称 持仓占比 所属领域 较上期变动
富创精密 9.34% 半导体设备零部件 +0.33%
华海清科 9.22% 半导体设备（清洗/刻蚀） +0.22%
中微公司 9.06% 半导体设备（刻蚀/薄膜沉积） -0.17%
北方华创 9.03% 半导体设备（刻蚀/薄膜沉积/清洗） -0.03%
拓荆科技 8.90% 半导体设备（薄膜沉积） +0.12%
中科飞测 8.90% 半导体检测设备 +0.