1. 南大光电( 300346 )—— 高端技术突破最强
• 技术核心:国内唯一实现 28nm制程ArF光刻胶量产 的企业,产品缺陷密度低至0.03个/cm²,能适配14nm逻辑芯片和50nm存储芯片,打破了日本企业的垄断。其电子束光刻胶已通过8nm验证,直接瞄准先进制程市场。
• 市场地位:ArF光刻胶已进入中芯国际、长江存储等头部晶圆厂供应链,2025年该业务收入占比提升至32%,订单已排到