国产半导体设备
设备投资（78-80%）

前道设备（芯片制造 78-80%）

光刻机

• 整机

◦ 上海微电子

◦ 张江高科：上海电气控股集团为上海微电子第一大股东直接持股32.08%，间接持股上海微电子10.779%的股份

◦ 东方明珠：间接持股上海微电子1.73%的股份

◦ 上海电气：上海电气控股集团持股公司股份比例第一，41.09%

◦ 电气风电：上海电气控股集团持股公司股份