1. 洁净室：

晶圆厂扩产需先完成厂房“精装修”，国内两家龙头为台资背景，

台积电扩产大概率优先合作（肥水不流外人田），当前已因全球扩产趋势开始涨价，订单预期持续强化。

2. 场务设备：

废气处理、温控、真空泵等设备是设备运行的稳定保障，国内厂商正进入导入测试阶段，

某龙头在温控环节与新兴存储客户深度绑定，2026年新接订单存储占比超60%，是存储扩产弹性较高的环节，

新产品验证推进中