上海光机所“林楠团队成功开发出基于固体激光器技术的激光等离子体极紫外光源。

中国EUV光源新突破。中国科学院上海光机所林楠团队在极紫外光刻(EUV)光源领域取得重大突破，成功开发出基于固体激光器的激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源，能量转换效率达3.42%，超越国际顶尖水平，为中国半导体产业叩开7纳米以下先进制程大门。

国家知识产权局信息显示，深圳市昇维旭技术有限公司取得一项名为“激