一、溅射靶材行业基本情况
(1)薄膜制备技术发展历程
薄膜材料由原子或分子在基板(例如光学玻璃等)表面凝结、形成及生长而成。利用镀膜工艺镀制薄膜后,可使材料表面获得新的复合性能并实现新的工程应用,赋予材料表面新的机械功能、装饰功能和声、电、光、磁、热及其转换等特殊功能,从而改善产品原有性能、提高产品质量、延长产品寿命,
随着制备薄膜材料的真空系统、检测系统等技术的进步与发展,薄膜材料的性能大幅提升