中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）是中国领先的高端半导体设备制造商，专注于半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、 MEMS 制造等领域的设备研发与生产

1. 核心业务与技术突破

刻蚀设备：公司核心产品，覆盖5nm及以下先进制程，国内市占率约35%，是全球少数能提供5nm刻蚀设备的厂商之一。2021年成功研制3nm蚀刻机并量产，2024年刻蚀设备销售额