海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。双方将在封装光刻机冷却系统配套、产品联合开发、跨专业的复合型人才培养等多方面进行合作，两家公司互相培养相关的人才，为后来的研发和生产储备高精端的人才，新一代高科技光刻机的研发任重而道远，需要两家公司紧密的合作，利用自己各方面的优势来和对方展开深入的合作交流，共同发展，为我国生产高端的光刻机产品，并且计划开展共建联合实验室等全系统、全方向、多领域