光刻机

双工件台：华卓精科

光源系统：福晶科技，科益虹源，波长光电

照明系统：腾景科技，炬光科技，赛微电子

物镜系统：麦克奥迪，奥普光电，国望gx，福光股份，茂莱光学

曝光系统：国科jm

光栅系统：苏大维格，上光所

浸没系统：启尔机电

设计与整机集成：上海微电子，张江高科

周边配套：美埃科技：洁净室关键设备

同飞股份：液体恒温设备

蓝英装备：jm清洗

富乐德：jm洗净

金