公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等,4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司 ASML 产品认证。
公司用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家,用于光刻机的光刻气系列产品都是国内首家,市占率都大于50%。

2019年年报披露:在集成电路、新型显示面板等特种气体的下游高端应用领域,客户对气体供应商会进行审厂、产品认证两轮严格的审核认