27日网传上海微电子装备股份有限公司发布光刻机专利，代表着离突破更近一步。上海微电子装备(集团)股份有限公司发明公布《光刻投影物镜及光刻机》申请公布号:CN116954028A。
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张江高科：公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子14.21%股权。
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