半导体检测设备进入产业化加速期，推荐中科飞测、精测电子（1）良率是晶圆生产的关键，半导体量检测设备在控制芯片良率中发挥核心作用，产品技术壁垒高、国产化率极低。根据 SEMI ，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的11%，是仅次于光刻机的高壁垒设备。半导体量检测设备中国大陆市场规模约30亿美元，KLA、应用材料、日立等国外厂商长期垄断中国市场，国产替代前景广阔。（2）在明场/暗场检测领域，中科飞测