一、光刻机是什么。

极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。

最主要的作用是光刻集成电路板，制造高精度芯片。

EUV光刻机最核心的技术包括光源系统、物镜系统和工作台系统这三方面。其中EUV光源系统又是最核