张江高科:真实的SSMB-EUV项目方案!
展开
真正的SSMB-EUV光源方案 :加速器周长100~150米,输出EUV功率>1KW
漂亮国的极限制裁极大的加速了国内EUVGKJ的研发速度,原本这种异想天开的“邪路”只能停留在PPT上和实验室里。现在GJ的饱和式研发却让它迅速落地 。(已在雄安落地)
未来这种加速器的光源将能够同时为数台甚至数十台GKJ提供光源。
PS:上微扩充产线应该要提上日程了,只需把原来提供光源的汞灯去掉,剩
漂亮国的极限制裁极大的加速了国内EUVGKJ的研发速度,原本这种异想天开的“邪路”只能停留在PPT上和实验室里。现在GJ的饱和式研发却让它迅速落地 。(已在雄安落地)
未来这种加速器的光源将能够同时为数台甚至数十台GKJ提供光源。
PS:上微扩充产线应该要提上日程了,只需把原来提供光源的汞灯去掉,剩
